特許

J-GLOBAL ID：200903081338326586

面位置検出装置の調整方法、合焦装置、露光装置、並びにデバイスの製造方法

発明者： 若本 信二
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-215132
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031506
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：

【要約】【課題】 検出誤差を効果的に低減することができる面位置検出装置の調整方法を提供する。【解決手段】 所定の基準面に対して検出される位置情報から検出誤差を算出し、その検出誤差を線形な少なくとも一つの誤差成分に分解し、その少なくとも一つの誤差成分に基づいて光学系を調整する。

請求項（抜粋）：

被検面に対して複数のビームを投光する投光系と、前記被検面で反射した複数のビームを受光して前記被検面の位置情報を検出する受光系とを備える面位置検出装置を調整する方法であって、所定の基準面に対して検出される位置情報から検出誤差を算出し、該検出誤差を線形な少なくとも一つの誤差成分に分解し、該少なくとも一つの誤差成分に基づいて前記投光系及び前記受光系のうち少なくとも一方を調整することを特徴とする面位置検出装置の調整方法。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G03F 7/207 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G03F 7/207 H ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (40件)：

2F065AA04 ,  2F065AA11 ,  2F065AA37 ,  2F065AA39 ,  2F065BB01 ,  2F065CC19 ,  2F065DD00 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF07 ,  2F065FF61 ,  2F065GG02 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ39 ,  2F065RR02 ,  2F065RR08 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05 ,  2F065UU07 ,  5F046CB02 ,  5F046CB25 ,  5F046DA12 ,  5F046DB05 ,  5F046DB10 ,  5F046FA09 ,  5F046FB10 ,  5F046FB16 ,  5F046FC04