特許
J-GLOBAL ID：200903081340543225

ガラスセラミック基板の製造方法

発明者：
由布 武久

由布 武久 について


出願人/特許権者：
京セラ株式会社

京セラ株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-194391
公開番号（公開出願番号）：特開2002-016360
出願日： 2000年06月28日
公開日（公表日）： 2002年01月18日
要約：
【要約】【課題】 ガラスセラミック・グリーンシートの積層面内での焼結収縮を確実に拘束して、寸法精度の高いガラスセラミック基板を得る方法を提供することである。【解決手段】 (i)表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層して積層体を作製し、(ii)該積層体の両面に、所定の難焼結性無機材料とガラスとを含む拘束グリーンシートを積層し、(iii)積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して、拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製し、(iv)該基板から拘束シートを除去する工程からなり、(v)拘束グリーンシートのガラス含有量が、焼成時にガラスセラミック・グリーンシートと結合しかつ積層面内で実質的に収縮させない量であるとともに、拘束グリーンシート中の難焼結性無機材料粉末およびガラス粉末の平均粒径が1〜5μm、粒度分布が(D90-D10)/D50≦4である。
請求項（抜粋）：
ガラス粉末とフィラー粉末と有機バインダーとを含有し表面に導体パターンが形成されたガラスセラミック・グリーンシートの複数枚を積層してガラスセラミック・グリーンシート積層体を作製する工程と、前記ガラスセラミック・グリーンシート積層体の両面に、難焼結性無機材料粉末とガラス粉末と有機バインダーとを含む拘束グリーンシートを積層する工程と、前記拘束グリーンシートとガラスセラミック・グリーンシート積層体との積層体から有機成分を除去し、ついで焼成して拘束シートを保持したガラスセラミック基板を作製する工程と、前記ガラスセラミック基板から拘束シートを除去する工程とを含み、前記拘束グリーンシートのガラス含有量が、前記焼成時に拘束グリーンシートを前記ガラスセラミック・グリーンシートと結合させかつ拘束グリーンシートをその積層面内で実質的に収縮させない量であるとともに、前記拘束グリーンシート中の前記難焼結性無機材料粉末および前記ガラス粉末の平均粒径が1〜5μmであり、かつ、粒度分布が個数積算分布における10%粒子径をD10、50%粒子径をD50、90%粒子径をD90としたときに(D90-D10)/D50≦4であることを特徴とするガラスセラミック基板の製造方法。
IPC (3件)：
H05K 3/46 ,  C04B 35/622 ,  H01L 23/13
FI (3件)：
H05K 3/46 H ,  C04B 35/00 G ,  H01L 23/12 C
Fターム (30件)：
4G030AA07 ,  4G030AA08 ,  4G030AA09 ,  4G030AA16 ,  4G030AA17 ,  4G030AA32 ,  4G030AA35 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030GA14 ,  4G030GA17 ,  4G030PA12 ,  5E346AA12 ,  5E346AA15 ,  5E346AA24 ,  5E346AA38 ,  5E346BB01 ,  5E346CC18 ,  5E346CC31 ,  5E346CC60 ,  5E346DD02 ,  5E346DD34 ,  5E346EE24 ,  5E346EE25 ,  5E346EE28 ,  5E346EE29 ,  5E346GG03 ,  5E346GG08 ,  5E346GG09 ,  5E346HH11
引用特許：
審査官引用 (7件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM