特許

J-GLOBAL ID：200903081351171800

ワーク搬送装置の制御装置

発明者： 栗原 隆 ,  矢崎 聡 ,  鮫島 泰郎
出願人/特許権者： 株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 木村 高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-359580
公開番号（公開出願番号）：特開2000-183128
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】ワーク搬送ロボットR1によってロードロック室22の搬入口22aにワークWKを搬送する際に、ワークWKの移動軌跡が自重方向にずれた曲線になってしまうことを防止し水平線に沿って直線状に移動させる。【解決手段】アーム16、17の先端の水平移動量Xに対応づけてアーム16、17の鉛直方向の撓み量ΔZが設定される。そしてアーム16、17の先端の現在の水平移動量X12(P12)に対応する撓み量ΔZ12が、上記設定内容から求められる。そして、アーム16、17が撓み方向とは反対の鉛直方向に当該撓み量ΔZ12だけ鉛直移動するように鉛直移動量(鉛直駆動指令)Zが補正されて駆動指令が出力される。

請求項（抜粋）：

基端部に対して片持ち支持されたアームと、駆動指令に応じた水平移動量だけ前記アーム先端を前記基端部に対して水平移動させる水平駆動軸と、前記駆動指令に応じた鉛直移動量だけ前記アームを鉛直移動させる鉛直駆動軸と、前記駆動指令を生成して前記水平駆動軸および前記鉛直駆動軸に出力することによってアーム先端のワークの搬送を制御する制御手段とを具えたワーク搬送装置の制御装置において、前記アーム先端の水平移動量に対応づけて前記アームの鉛直方向の撓み量を設定する撓み量設定手段を具え、前記制御手段は、前記アーム先端の現在の水平移動量に対応する撓み量を、前記撓み量設定手段の設定内容から求め、前記アームが撓み方向とは反対の鉛直方向に当該撓み量だけ鉛直移動するように前記鉛直移動量を補正して前記駆動指令を出力するようにしたワーク搬送装置の制御装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B25J 9/10 ,  B65G 49/07 ,  G02F 1/13 101

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B25J 9/06 D ,  B25J 9/10 A ,  B65G 49/07 C ,  G02F 1/13 101

Fターム (29件)：

2H088FA17 ,  2H088FA30 ,  2H088MA20 ,  3F059AA01 ,  3F059AA14 ,  3F059AA16 ,  3F059BA04 ,  3F059BA08 ,  3F059DA08 ,  3F059FB17 ,  3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060DA09 ,  3F060DA10 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060FA01 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA42 ,  5F031GA43 ,  5F031GA49 ,  5F031MA09 ,  5F031MA28 ,  5F031MA29