特許

J-GLOBAL ID：200903081353517576

レチクル移載治具

発明者： 荒川 哲
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 花輪 義男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-124101
公開番号（公開出願番号）：特開平10-312953
出願日： 1997年05月14日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：

【要約】【課題】レチクルの把持を確実になし得るとともに、異物がレチクルに付着するのを低減しえることを課題とする。【解決手段】レチクル2の対向する側壁を把持する第1,第2のアーム11 ,12 と、これら第1,第2のアーム11 ,12 と交差するとともに、前記レチクル2の別の対向する側壁を把持する第3,第4のアーム13 ,14 と、前記第1〜第4のアーム11 〜14 のいずれかに沿って設けられ、該第1〜第4のアーム11 〜14 のレチクル2に対する締付け,開放を行うためのスライドスイッチ9を有した取っ手11と、前記スライドスイッチ9をスライドさせることにより前記第1〜第4のアーム11 〜14 のレチクル2に対する締付け,開放を行う駆動機構(回転板7,クランク,ピニオン9,ラック10)とを具備することを特徴とするレチクル移載治具。

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィ工程で使用するレチクルを移載する治具において、レチクルの対向する側壁を把持する第1,第2のアームと、これら第1,第2のアームと交差するとともに、前記レチクルの別の対向する側壁を把持する第3,第4のアームと、前記第1〜第4のアームのいずれかに沿って設けられ、該第1〜第4のアームのレチクルに対する締付け,開放を行うためのスライドスイッチを有した取っ手と、前記スライドスイッチをスライドさせることにより前記第1〜第4のアームのレチクルに対する締付け,開放を行う駆動機構とを具備することを特徴とするレチクル移載治具。

FI (3件)：

H01L 21/30 502 J ,  H01L 21/30 503 E ,  H01L 21/30 503 D