特許

J-GLOBAL ID：200903081356176222

処理装置および該装置における清浄エアの供給方法

発明者： 立山 清久
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 大森 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-375585
公開番号（公開出願番号）：特開2000-182949
出願日： 1998年12月17日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】必要な箇所のみにクリーンエアを供給でき、不要な処理装置を省いた場合に、ブロワやファン等にかかる余分な負荷を除去し、ランニングコストを低減する。【解決手段】被処理体に所定の処理を行う処理部ごとに対応させて、該処理部の上方にエア吹き出し部40を設け、また、処理部ごとに対応させて、該処理部の下方に設けたエア回収部43を設ける。エア吹き出し部40から直下に向けて吹き出されたクリーンエアは、当該装置内に設置された処理部を通過した後、エア吸引機構45による吸引力により、該エア吹き出し部40に対向するエア回収部43を通じて回収され、リターンダクト44を介してエア吹き出し部40に再度供給される。

請求項（抜粋）：

被処理体に所定の処理を行う複数の処理部と、前記各処理部に対応して、該処理部の上方に設けられ、清浄エアを直下に向けて吹き出すエア吹き出し部と、前記各処理部に対応して、該処理部の下方に、前記エア吹き出し部に対向して設けられ、エア吸引機構の吸引力により、リターンダクトを通じて前記エア吹き出し部にエアを再供給するため、処理部を通過したエアを回収するエア回収部と、を具備することを特徴とする処理装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/30 562 ,  G02F 1/13 101 ,  H01L 21/02 D

Fターム (10件)：

2H088FA21 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H088MA20 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046CD06 ,  5F046JA07 ,  5F046JA08 ,  5F046JA22

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 連結式クリーン空間装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-096172   出願人：松下電器産業株式会社
• クリーンルーム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-249529   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平2-293554