露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-053240
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244265
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は、露光用光源から放射される熱によりガラス乾板が熱膨張、収縮しても位置認識用マークを撮像視野から外さない。【解決手段】シャドウマスクパターン5a、6aを鉄帯2に転写するとき、各紫外線ランプ11、12から放射される熱により各ガラス乾板5、6が例えば熱膨張して各位置認識マーク7a、7b、8a、8bが各位置認識用カメラ9、10の視野中心Qからずれても、そのずれ量を位置認識用カメラ9、10により撮像した各画像データから検出し、このずれ量に従って各XYステージ20、21を駆動して各位置認識用カメラ9、10を移動し、その視野中心Qに各位置認識マーク7a、7b、8a、8bを配置する。

請求項（抜粋）：

被処理体の両面側にそれぞれ同一形状のパターンが形成された各マスクパターンをこれらマスクパターンの位置を一致させて配置し、この後に前記各マスクパターンに形成されたパターンを前記被処理体の両面に転写する露光装置において、前記各マスクパターンに付された位置認識マークを撮像する撮像手段と、この撮像手段の視野中心に前記位置認識マークの所定位置が位置決めされるように前記撮像手段を移動する移動機構と、を具備したことを特徴とする露光装置。

IPC (5件)：

G03F 9/00 , H01J 9/14 , H05K 3/00 , H05K 3/06 , H01L 21/027

FI (6件)：

G03F 9/00 H , H01J 9/14 H , H05K 3/00 H , H05K 3/06 E , H01L 21/30 506 N , H01L 21/30 507 J

前のページに戻る