特許
J-GLOBAL ID：200903081369207194
透明体欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
加藤 卓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-250015
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087739
出願日： 1991年09月30日
公開日（公表日）： 1993年04月06日
要約：
【要約】【目的】 透明体の欠陥検査を自動的に、またきわめて高精度かつ客観的に行なえる透明体欠陥検査装置を提供する。【構成】 被検査レンズ1の端面から内部に入射した光は、透明体の内部を上下に多重反射を繰り返しながら伝搬する(52)。透明体内部を伝搬する光は、透明体の表面または内部のキズ55や気泡54などがあると、そこで光線の伝搬方向が変わり、表面に垂直方向の光が発生する。表面に垂直な角度で入射する光は透過率が高いため、外部に出る。したがって、内部や表面に欠陥があると、外部に光が漏れ出るため、欠陥だけが明るく光って見え、表面や内部に存在する欠陥が容易に観察できる。一方、透明体の表面に付着している異物53は、透明体の内部の光の伝搬を変えることがないため、透明体に垂直方向な光線は生じず、欠陥のみを観察できる。
請求項（抜粋）：
透明体内外の構造的欠陥を光学的に検出する透明体欠陥検査装置において、透明体の端面から内部に光を入射する照明手段と、透明体の異なる面より透明体の内部で生じる拡散光を観察する観察手段からなることを特徴とする透明体欠陥検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, H04N 7/18
