特許

J-GLOBAL ID：200903081378822721

誘電体膜の製造方法及びその誘電体膜を用いた相変化型光ディスク媒体とその製造方法

発明者： 久保形 雅之
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 章夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-063311
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260073
出願日： 1999年03月10日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 多数回の繰り返し記録・再生を行っても安定した信号特性が得られる相変化型光デイスク媒体を提供すること。【解決手段】 透明なディスク基板11上に第1誘電体層12、記録層13、第2誘電体層14、金属反射層15、UV樹脂保護層16が順次積層され、記録層13は記録ビームスポットの照射によりその相状態が変化し情報の記録、消去または再生が可能な相変化型光ディスク媒体において、第1誘電体層12および/または第2誘電体層14としてのZnS-SiO2 膜をスパッタ成膜する際のガス雰囲気として酸素ガスとアルゴンガスと水素ガスの混合ガスを用いる。水素ガスを混合することで、ZnS-SiO2 膜中のSiのダングリングボンドが終端され、化学的に安定な膜質となり、多数回の繰り返し記録・再生を行っても安定した信号特性が得られるようになる。

請求項（抜粋）：

ZnS-SiO2 で構成される誘電体膜を、ZnSとSiO2 の混合物を焼結したターゲットを用い、アルゴンガスと酸素ガスと水素ガスの混合ガス雰囲気でのスパッタ法により成膜することを特徴とする誘電体膜の製造方法。

IPC (2件)：

G11B 7/26 531 ,  G11B 7/24 534

FI (2件)：

G11B 7/26 531 ,  G11B 7/24 534 N

Fターム (16件)：

5D029JA01 ,  5D029JB35 ,  5D029LA13 ,  5D029LA14 ,  5D029LB07 ,  5D029MA13 ,  5D029MA14 ,  5D029MA15 ,  5D121AA01 ,  5D121AA03 ,  5D121AA05 ,  5D121EE03 ,  5D121EE13 ,  5D121EE17 ,  5D121EE19 ,  5D121EE27