特許

J-GLOBAL ID：200903081380052496

レーザ用ミラーおよびその製造方法

発明者： 松島 正明 ,  安藤 謙二 ,  大谷 実 ,  鈴木 康之 ,  枇榔 竜二 ,  金沢 秀宏
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-169485
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002708
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】 レーザ用ミラーの耐久性等を向上させる。【解決手段】 アルミニウムや銀の金属からなる基板1に所定の層数を有する高反射率誘電体多層膜2を積層して、高帯域、高反射率、高耐光力のレーザ用ミラーを得る。基板1にアルミニウムや銀の単結晶を用いることで、結晶粒界による光の散乱や吸収を回避し、光学特性や耐久性を向上させる。

請求項（抜粋）：

高反射率を有する金属基板と、該金属基板に積層された高反射率誘電体多層膜を有し、前記金属基板が単結晶の金属であることを特徴とするレーザ用ミラー。

IPC (3件)：

G02B 5/08 ,  C23C 14/06 ,  H01S 3/08

FI (4件)：

G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 C ,  C23C 14/06 N ,  H01S 3/08 Z