特許

J-GLOBAL ID：200903081381720778

シンチレータ及びその製造方法、ならびに放射線検出器

発明者： 佃 康夫
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 大場 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-111005
公開番号（公開出願番号）：特開平5-087934
出願日： 1991年04月16日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：

【要約】【目的】 微小異物を解像度および感度ともに満足させつつ検知することを可能とする。【構成】 放射線検出器を、50〜1000μmの範囲でほぼ均等な厚さを有し、幅50μm以下、ピッチ200μm以下の遮光隔壁が厚さ方向に設けられており、放射線照射面に光反射層が形成されているシンチレータ部、該シンチレータ部による発光分布を実質上保持しつつ透過させる光導波路、および厚さ方向に光学的区分用隔壁を有し該光導波路から受光し、光電変換させる光電変換部からなり、シンチレータ部の遮光隔壁と光電変換部の光学的区分用隔壁が対応して設けられている構造とする。

請求項（抜粋）：

50〜1000μmの範囲でほぼ均等な厚さを有し、幅50μm以下、ピッチ200μm以下の遮光隔壁が厚さ方向に設けられており、放射線照射面に光反射層が形成されていることを特徴とするシンチレータ。