特許

J-GLOBAL ID：200903081386800346

高解像度撮像方法及びその装置

発明者： 湯川 典昭 ,  植田 秀司 ,  野村 剛 ,  下野 健
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-173931
公開番号（公開出願番号）：特開平10-093871
出願日： 1997年06月30日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】 表示画素数の多い被検査体である表示画面を高解像度で撮像する高解像度撮像方法及びその装置を提供する。【解決手段】 ほぼ100%の開口率の撮像素子1と、該撮像素子の前方に設置した微小移動可能な撮像素子画素数分の撮像素子とより小さい光を透過する部分が空いた開口部2aを有した板2とを備え、開口部を有した板が撮像素子露光終了後ごとに微小移動し、複数回で撮像素子画素各々の面積に対し露光が完了することにより、解像度を向上させるようにする。

請求項（抜粋）：

被検査体(4)の画像情報を取り込む撮像素子(1)の複数の受光画素(1a)の各々を複数の領域に分割し、分割された領域毎に上記被検査体からの画像情報を取り込ませながら、最終的に上記各受光素子の全領域で上記被検査体の画像情報を取り込ませるようにしたことを特徴とする高解像度撮像方法。

IPC (5件)：

H04N 5/335 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00 ,  H01J 9/42 ,  H01L 27/14

FI (5件)：

H04N 5/335 V ,  G01N 21/88 Z ,  H01J 9/42 A ,  G06F 15/64 330 ,  H01L 27/14 Z