有機電界発光層の蒸着源

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (9件)：萼経夫 , 宮崎嘉夫 , 舘石光雄 , 小野塚薫 , ▲高▼ 昌宏 , 中村壽夫 , 加藤勉 , 村越祐輔 , 小宮知明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-228309
公開番号（公開出願番号）：特開2005-054270
出願日： 2004年08月04日
公開日（公表日）： 2005年03月03日
要約：

【課題】蒸着源の開口の温度が低下する部分で、蒸発した蒸着材料が堆積することを防止する。【解決手段】内部に蒸着材料Mが収納されているセル11と、側壁部材13との間に、加熱手段13Aを設ける。セル11の上部に、蒸着材料の蒸気排出用開口12Aが形成されたセルキャップ12と、該セルキャップに形成された蒸気排出用開口と対応する開口が形成された蓋15との間に、SUSあるいはタンタルからなり、蒸気排出用開口と対応する開口が形成された熱遮断板16を設ける。熱伝導率の低い材料からなる遮断板により、開口周辺の温度を適切に保持し、温度低下により開口周辺に凝固する現象を防止できる。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

印加された電源によって加熱され、その内部に収納された蒸着材料を加熱し、発生した蒸着材料の蒸気を外部へ放出させて基板表面に蒸着層を形成する蒸着源において、内部に蒸着材料が収納されているセルと、セル上部に設けられ、蒸着材料の蒸気排出用開口が形成されたセルキャップと、セル外側に位置し、セル外側に設けられた加熱手段を支持する側壁部材と、側壁部材上端に固定された状態で前記セルキャップ上に位置し、セルキャップに形成された前記蒸気排出用開口と対応する開口が形成された蓋と、前記蓋とセルキャップとの間に形成された空間に配置され、中央部には蓋及びセルキャップにそれぞれ形成された前記蒸気排出用開口と対応する開口が形成されている熱遮断板と、を含む蒸着源。

IPC (3件)：

C23C14/24 , H05B33/10 , H05B33/14

FI (3件)：

C23C14/24 A , H05B33/10 , H05B33/14 A

Fターム (9件)：

3K007AB18 , 3K007DB03 , 3K007FA01 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029DB06 , 4K029DB12 , 4K029DB13

引用文献：

審査官引用 (1件)

旧東ドイツ国特許第262551号明細書

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