特許
J-GLOBAL ID：200903081392530539
難削材のベベリング加工方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-105760
公開番号（公開出願番号）：特開平6-315829
出願日： 1993年05月07日
公開日（公表日）： 1994年11月15日
要約：
【要約】【構成】 シリコンウエハAの外周エッジ部Bに電解液Dを塗布し、主電極3と補助電極4との間に電圧を印加し、主電極3との間で発生する放電熱により、外周エッジ部Bを研磨する際に、主電極3として、回転される円板状の電極を使用し、補助電極4として、前壁部5aに電解液の供給穴6が形成されるとともにスポンジ体7が配置された箱状体5を使用し、かつ電解液Dを含んだスポンジ体7を外周エッジ部Bに押圧して難削材の外周エッジ部を研磨するベベリング加工方法である。【効果】 スポンジ体により、ウエハの外周エッジ部だけに電解液が塗布されるため、外周エッジ部以外の表面が荒れるのを防止することができ、また円板状の主電極が回転されるため、電解研磨と同時に機械的研磨も行われるため、ウエハに深い傷がある場合でも、確実に取り除くことができる。
請求項（抜粋）：
回転自在に支持された円板状の難削材の外周エッジ部に電解液を塗布し、この電解液が塗布された外周エッジ部に主電極と補助電極とを接触させるとともに、これら両電極間に電解液を介して電圧を印加させ、主電極の先端部に発生する放電熱により、上記難削材の外周エッジ部を研磨する際に、上記主電極として回転される円板状の電極を使用し、補助電極として中空にされかつ難削材との接触する側の壁部に電解液の供給穴が形成された箱状体を使用するとともに、上記供給穴が形成された壁部に電解液の塗布部材を配置し、かつ上記補助電極内に電解液を供給するとともに塗布部材を外周エッジ部に押圧して難削材の外周エッジ部を研磨することを特徴とする難削材のベベリング加工方法。
IPC (3件)：
B23H 3/00
, B23H 9/02
, H01L 21/304 301
