特許
J-GLOBAL ID:200903081395365717

X線回折装置の光学系切換装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 利之
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-221191
公開番号(公開出願番号):特開平9-049811
出願日: 1995年08月08日
公開日(公表日): 1997年02月18日
要約:
【要約】【課題】 スリット・コリメーションと、チャンネルカット・モノクロメータ・コリメーションと、4結晶モノクロメータ・コリメーションとの切り換えを、チャンネルカット結晶を回転させるだけで実施して、チャンネルカット結晶の移動機構を小型化すると共に、角度調整機構としても兼用する。【解決手段】 (a)のスリット・コリメーションの状態では、チャンネルカット結晶36、38の二つの反射表面が入射X線ビーム44に平行になっており、入射X線ビーム44は、チャンネルカット結晶36、38の二つの反射表面の間を通り抜ける。(b)のチャンネルカット・モノクロメータ・コリメーションの状態では、第1のチャンネルカット結晶36が回転中心40の回りに所定角度だけ時計回りに回転する。(c)の4結晶モノクロメータ・コリメーションの状態では、二つのチャンネルカット結晶36、38が回転中心40、42の回りに互いに逆方向に所定角度だけ回転する。
請求項(抜粋):
X線回折装置のX線源と試料との間に、X線ビームの発散角を制限するスリット装置と、2個のチャンネルカット結晶とを配置して、試料に入射するX線ビームのコリメーションを、スリット装置によるコリメーションと、1個のチャンネルカット結晶からなるモノクロメータによるコリメーションと、2個のチャンネルカット結晶からなる4結晶モノクロメータによるコリメーションとの間で切り換え可能にした光学系切換装置において、前記2個のチャンネルカット結晶のそれぞれは、回転中心の回りを回転することによって、X線ビームに触れない退避位置と、二つの反射表面で順にX線ビームが回折する回折位置との間で選択的に切り換え可能であることを特徴とする光学系切換装置。
IPC (2件):
G01N 23/207 ,  G21K 1/06
FI (2件):
G01N 23/207 ,  G21K 1/06 K

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