金属結晶粒の連続的移動の観察方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-029817
公開番号（公開出願番号）：特開平5-235135
出願日： 1992年02月18日
公開日（公表日）： 1993年09月10日
要約：

【要約】【目的】試料中の結晶粒の連続的な移動の観察を行う。【構成】イオンビーム装置6に外部(大気)と接続できる配線7を設け観察の試料4に一定の電流を流しながらイオンビーム2を照射し、発生した2次電子3を2次電子検出器5により検出する。

請求項（抜粋）：

真空中で金属試料に一定の電流を流しながらイオンビームを照射し、照射により励起された2次電子を2次電子検出器により検出することを特徴とする金属結晶粒の連続的移動の観察方法。

IPC (2件)：

H01L 21/66 , G01N 23/225

引用特許：

審査官引用 (5件)

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