特許

J-GLOBAL ID：200903081401636540

ステージ装置

発明者： 真下 秀彦
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 後藤 洋介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037512
公開番号（公開出願番号）：特開2001-225241
出願日： 2000年02月16日
公開日（公表日）： 2001年08月21日
要約：

【要約】【課題】 粗動ステージと微動ステージの相対位置を粗動ステージのストローク範囲すべてにおいて、数nmの誤差で高精度且つ自動的に位置決めすることのできるステージ装置を提供すること。【解決手段】 ステージ駆動機構により移動可能な粗動ステージ1と、粗動ステージ上において該粗動ステージの移動方向と同方向に移動可能であって十分に小さいストローク範囲で移動可能な位置微調整機構を持つ微動ステージ2とを備える。制御装置は、あらかじめ定められた粗動アルゴリズムによりステージ駆動機構を制御して粗動ステージを、微動ステージが目標値に対して位置微調整機構により位置調整可能な範囲内におさまるように粗動位置決め制御を行い、該粗動位置決め制御終了の後、あらかじめ定められた微動アルゴリズムにより位置微調整機構に対して微動ステージを目標位置に位置決めするように微動位置決め制御を行う。

請求項（抜粋）：

ステージ駆動機構により第1のストローク範囲を移動可能な粗動ステージと、前記粗動ステージと平行に並んで該粗動ステージの移動方向と同方向に移動可能であって前記第1のストローク範囲L1に比べて小さい第2のストローク範囲で移動可能な位置微調整機構を持つ微動ステージと、前記粗動ステージの移動量を計測するための第1の分解能を持つ第1の計測装置と、前記粗動ステージに対する前記微動ステージの相対位置を精密に計測するために前記第1の分解能に比べて精密な第2の分解能を持つ第2の計測装置と、前記ステージ駆動機構に対し、前記第1の計測装置からの計測結果と前記第2の計測装置からの計測結果をフィードバックして前記粗動ステージを目標位置に粗動位置決め制御を行うための第1のフィードバック制御系と、前記位置微調整機構に対し、前記第2の計測装置からの計測結果をフィードバックして前記微動ステージを目標位置に微動位置決め制御を行うための第2のフィードバック制御系とを含み、前記第1のフィードバック制御系は、あらかじめ定められた粗動アルゴリズムにより前記ステージ駆動機構を制御して前記粗動ステージを、前記微動ステージが目標値に対して前記位置微調整機構により位置調整可能な範囲内におさまるように粗動位置決め制御を行い、該粗動位置決め制御終了の後、前記第2のフィードバック制御系は、あらかじめ定められた微動アルゴリズムにより前記位置微調整機構に対して前記微動ステージを目標位置に位置決めするように微動位置決め制御を行うことを特徴とするステージ装置。

IPC (3件)：

B23Q 5/22 530 ,  B23Q 3/18 ,  G12B 5/00

FI (3件)：

B23Q 5/22 530 H ,  B23Q 3/18 Z ,  G12B 5/00 T

Fターム (11件)：

2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB12 ,  2F078CB14 ,  2F078CC07 ,  2F078CC11 ,  3C016HA00 ,  3C016HB00 ,  3C016HC02