特許
J-GLOBAL ID：200903081401657687
ウオールジエツト型電気化学的検出器およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177815
公開番号（公開出願番号）：特開平5-002007
出願日： 1991年06月24日
公開日（公表日）： 1993年01月08日
要約：
【要約】【目的】 高い検出感度を得る。【構成】 表面にシリコン酸化膜を形成したシリコンウエハ2上に複数の同心円状の薄膜電極からなる作用電極5,6が微小間隔によって分離されて形成される。
請求項（抜粋）：
少なくとも2つの同心円状電極からなることを特徴とするウォールジェット型電気化学的検出器。
IPC (3件)：
G01N 27/30
, G01N 27/28 321
, H01L 21/302
