特許

J-GLOBAL ID：200903081401844975

真空蒸着装置

発明者： 川崎 義則 ,  白川 忠秀 ,  根橋 清
出願人/特許権者： 石川島播磨重工業株式会社
代理人 (1件)： 絹谷 信雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-237206
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088233
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】【目的】 蒸発るつぼの交換、メンテナンス時に真空容器を大気開放することなく、しかも休止時間が短い真空蒸着装置を提供することにある。【構成】 蒸発るつぼを収容した真空の蒸着室10内に薄板状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する真空蒸着装置において、蒸着室10に真空遮断弁15を介して設けられ、交換用の蒸発るつぼ13を加熱する加熱手段19を有する準備室16を備えたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

蒸発るつぼを収容した真空容器内に、薄板状の被蒸着部材を連続して通過させて真空蒸着する真空蒸着装置において、前記真空容器に、真空遮断弁を介して設けられ、交換用の蒸発るつぼを加熱する加熱手段を有する準備室を備えたことを特徴とする真空蒸着装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-207860
  
• 特開平1-184272
  
• 特開平4-160147