特許
J-GLOBAL ID：200903081404262314
面発光型光源及びその製造方法、レーザ加工機用光源
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中島 淳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-211708
公開番号（公開出願番号）：特開2002-026452
出願日： 2000年07月12日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：
【要約】【課題】 面発光型レーザアレイ基板と光学系の複雑な調整をすることなく、所望のレーザ光を得る。【解決手段】 VCSELアレイ基板10には、複数のVCSEL11が配列されている。レンズアレイ基板20は、VCSELアレイ基板10の発光面側に一体に形成され、各VCSEL11から出射されるレーザ光を平行化するためのマイクロレンズ23を備えている。
請求項（抜粋）：
複数の面発光型レーザが配列された面発光型レーザアレイ基板と、前記面発光型レーザアレイ基板に一体に形成され、前記面発光型レーザに対応する位置にレンズが形成されたレンズアレイ基板と、を備えた面発光型光源。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
5F073AB04
, 5F073AB17
, 5F073AB26
, 5F073EA29
