特許
J-GLOBAL ID：200903081404304971

原子間力顕微鏡の加工用ダイヤモンド探針の観察方法及び加工方法

発明者：
高岡 修

高岡 修 について


出願人/特許権者：
エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社

エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 について


代理人 (1件)： 松下 義治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-332085
公開番号（公開出願番号）：特開2008-145242
出願日： 2006年12月08日
公開日（公表日）： 2008年06月26日
要約：
【課題】 原子間力顕微鏡を用いた物理的な欠陥除去装置で加工探針先端キャラクタリゼーションとダイヤモンド探針追加工と探針に付着した加工屑除去を可能にする。【解決手段】 加工用ダイヤモンド探針1の先端のキャラクタリゼーションが必要なときは使用している加工用ダイヤモンド探針1の先端を水蒸気雰囲気下での高加速電圧の高分解能走査電子顕微鏡観察を行う。加工用ダイヤモンド探針1の先端が磨耗している場合や探針先端形状の変更が必要な場合は水蒸気量と電子ビーム4の電流量を増やして電子ビーム4を必要な領域のみ選択照射して加工用ダイヤモンド探針先端を加工する。加工用ダイヤモンド探針1に加工屑が強く付着していて除去が必要な場合はフッ化キセノン雰囲気下で電子ビーム4を加工用ダイヤモンド探針先端についた加工屑のみに選択照射して除去する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
原子間力顕微鏡と走査電子顕微鏡を複合した加工装置において、該原子間力顕微鏡の加工用ダイヤモンド探針の先端を、水蒸気雰囲気下で、走査電子顕微鏡にて10〜30kVの加速電圧の電子ビームを照射して観察することを特徴とする原子間力顕微鏡の加工用ダイヤモンド探針観察方法。
IPC (3件)：
G01N 13/10 ,  H01J 37/28 ,  B82B 3/00
FI (3件)：
G01N13/10 F ,  H01J37/28 B ,  B82B3/00
Fターム (1件)：
5C033UU10
引用特許：
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (2件)

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