特許

J-GLOBAL ID：200903081411145447

上下動装置

発明者： 大澤 浩幸 ,  樋口 和範 ,  角谷 修
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-134175
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323522
出願日： 1999年05月14日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】 上下動の際のツールの角度変化を抑制する。【解決手段】 ロータリーヘッド27の下面に垂直に固定されたベース31の上下端部には平行リンクを構成する上下で一対の板ばね33、34の右端部が固定され、上下の板ばね33、34の左端部には移動体41の上下端部が固定されている。ベース31と移動体41との間にはVCM43が介設され、移動体41の下端部に設置された超音波発振器46のホーン47の先端部にはシングルポイントボンディングツール48が垂直方向下向きに取り付けられている。【効果】 平行リンクで移動体を常に垂直に上下動できるため、ツールによってワークに垂直の押し力を及ぼすことができ、ツールのワークに対しての片当たりを防止できる。

請求項（抜粋）：

ベースに移動体が平行リンクによって連結されており、前記ベースと前記移動体との間に接近離間させる駆動装置が介設されており、前記移動体にはツールが取り付けられていることを特徴とする上下動装置。

Fターム (4件)：

5F044NN02 ,  5F044NN07 ,  5F044PP01 ,  5F044PP02