微小構造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：太田恵一
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-541652
公開番号（公開出願番号）：特表2009-517640
出願日： 2006年11月24日
公開日（公表日）： 2009年04月30日
要約：

本発明は基板(101)、中間層(102)、三次元微小構造サイト(104)の表面に係着された化学種(106)を有する、半導体材料製の多数の前記三次元微小構造サイト(104)から成る区域(103)を含む微小構造装置(100)に関するものである。本発明の装置は、バイオチップや電子メモリの製造に有益である。本発明は、電子メモリを形成する方法も同様に目的とするものである。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板(101)、中間層(102)、化学種(106)を受けるのに適した複数の三次元微小構造サイト(104)から成る区域(103)を含むことを特徴とする、微小構造装置(100)。

IPC (7件)：

G01N 27/414 , H01L 21/824 , H01L 27/115 , H01L 27/28 , H01L 51/05 , H01L 29/788 , H01L 29/792

FI (9件)：

G01N27/30 301V , G01N27/30 301N , G01N27/30 301L , G01N27/30 301W , G01N27/30 301Y , G01N27/30 301K , H01L27/10 434 , H01L27/10 449 , H01L29/78 371

Fターム (27件)：

5F083EP17 , 5F083EP22 , 5F083EP48 , 5F083EP49 , 5F083EP50 , 5F083EP63 , 5F083EP68 , 5F083FZ07 , 5F083GA27 , 5F083JA33 , 5F083JA60 , 5F083KA01 , 5F083MA06 , 5F083MA19 , 5F083PR21 , 5F083PR33 , 5F083PR36 , 5F083PR40 , 5F083ZA21 , 5F101BA54 , 5F101BB02 , 5F101BB08 , 5F101BD07 , 5F101BH02 , 5F101BH08 , 5F101BH09 , 5F101BH16

引用特許：

審査官引用 (1件)

特許第1376606号

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