特許
J-GLOBAL ID：200903081417047137

走査型荷電粒子ビーム装置

発明者：
高嶋 進

高嶋 進 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-048058
公開番号（公開出願番号）：特開平10-247465
出願日： 1997年03月03日
公開日（公表日）： 1998年09月14日
要約：
【要約】【目的】 軸外収差を補正することによって、電磁視野移動範囲を拡大し、最高分解能を得る場合にも、電磁視野移動をオフにする必要がない、走査型荷電粒子ビーム装置を実現する。【解決手段】 演算器18は、電磁視野移動する距離(Xi ,Yi )に比例する数値の組(nx ,ny )をアップ/ダウンカウンタ17から受け取り、更に、光学系制御装置19からアライメントのデータ、軸上非点のデータ、フォーカスデータ等のバイアスデータを受け取り、視野移動装置の制御対象である8極子の非点補正装置9、電磁視野移動用の2段偏向器3,5、対物レンズ7に対するDA変換データを生成する。非点補正装置9に供給される電流には、対物レンズ7の非対称性によって生じる軸上非点収差を補正する成分が含まれているので、Xi=Yi =0のときのスポットは真円になる。また、Xi ≠Yi ≠0のときは、軸外非点補正電流が生成され、軸外収差が補正される。
請求項（抜粋）：
荷電粒子ビームを対物レンズで試料上に細く集束すると共に、対物レンズの上段の走査器で荷電粒子ビームを2次元的に走査し、更に、対物レンズの上段に2段の偏向器を設け、2段の偏向器により試料上の荷電粒子ビームの走査領域を移動させるようにした走査型荷電粒子ビーム装置において、走査領域の中心を(Xi,Yi)の点に移動するとき、(Xi,Yi)の関数として与えられる対物レンズの軸外収差のいずれかを自動的に除去するように、2段の偏向器の偏向角を制御するようにした走査型荷電粒子ビーム装置。
IPC (2件)：
H01J 37/153 ,  H01J 37/147
FI (2件)：
H01J 37/153 B ,  H01J 37/147 B
引用特許：
審査官引用 (26件)
  • 特開平2-152151
  • 特開平2-152151
  • 特開平4-262353
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