粒状ポリシリコンの製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-314860
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158006
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】流動層反応器の内壁に析出したポリシリコンの除去による流動層型反応器内壁の破損なく、インサート管の交換の必要がない粒状ポリシリコンの製造を可能とすること。【解決手段】表面に酸化層を形成したポリシリコンのインサート管により内壁を構成した流動層型反応器を使用し、内壁にハロゲンガス又はハロゲン化水素を含むガスを接触させることにより、オーバーエッチングなしに内壁に析出したポリシリコンを除去でき、インサート管の交換の必要のない粒状ポリシリコンの製造ができる。

請求項（抜粋）：

流動層型反応器を使用してシラン化合物の熱分解反応又は還元反応によりシリコンを析出せしめて粒状ポリシリコンを製造する方法において、該流動層型反応器の内壁を表面に酸化層を形成したポリシリコンのインサート管により構成し、該インサート管の内面にポリシリコンが析出し、堆積した時点で該堆積したポリシリコンにハロゲンガス又はハロゲン化水素を含むガスを接触させることを特徴とする粒状ポリシリコンの製造方法。

IPC (4件)：

C01B 33/02 , B01J 8/24 , B01J 19/00 , C01B 33/029

FI (4件)：

C01B 33/02 E , B01J 8/24 , B01J 19/00 H , C01B 33/029

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