精密基板収納容器及びその組立方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：神田正義 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-253498
公開番号（公開出願番号）：特開2000-091409
出願日： 1998年09月08日
公開日（公表日）： 2000年03月31日
要約：

【要約】【課題】容器本体の構成要素の組立時における寸法誤差を減少させ、精密基板の支持精度等を向上させ得る精密基板収納容器及びその組立方法を提供する。【解決手段】ウェーハを収納する容器本体1の構成要素群と、構成要素群の一の構成要素とこれに組み合わされる他の構成要素とを結合する位置決め取付手段37とを備える。構成要素群を、ウェーハ収納用のポッド2、ポッド2の天井に螺着されるロボティックハンドル、ポッド2の底面に螺着されるボトムプレート4、ボトムプレート4に螺着される複数の位置決め具、ポッド2の内部に螺着される一対のカラム、及びポッド2の内部に螺着されるリヤリテーナから構成する。また、位置決め取付手段37を、ポッド2に成形される嵌合ボス38と、ボトムプレート4等に成形される嵌合突部39とから構成する。そして、嵌合ボス38の嵌合内周面に案内テーパ面41を、嵌合突部39の嵌合周面には案内テーパ面41に面接触する位置決めテーパ面42をそれぞれ成形する。

請求項（抜粋）：

容器本体に精密基板を収納する精密基板収納容器であって、該容器本体を構成する構成要素群と、この構成要素群の少なくとも一の構成要素とこれに組み合わされる他の構成要素とを結合する位置決め取付手段とを含んでなることを特徴とする精密基板収納容器。

IPC (2件)：

H01L 21/68 , B65D 85/86

FI (2件)：

H01L 21/68 T , B65D 85/38 R

Fターム (16件)：

3E096AA06 , 3E096BA16 , 3E096BA17 , 3E096CA02 , 3E096DA05 , 3E096DA26 , 3E096DC04 , 3E096EA02X , 3E096EA02Y , 3E096FA03 , 3E096FA10 , 3E096GA04 , 3E096GA05 , 5F031BB04 , 5F031BC03 , 5F031HH07

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板収納装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-221205 出願人：株式会社東芝
ウェハー容器
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-188652 出願人：フルオロウェア・インコーポレーテッド
特開平4-169343

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