特許

J-GLOBAL ID：200903081431843892

遷音速掃引ガス流を用いた磁気ローラガスゲート

発明者： デーラー,ヨアシム
出願人/特許権者： エナージー・コンバーション・デバイセス・インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 谷 義一 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-523132
公開番号（公開出願番号）：特表平8-509025
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】異なるガス組成および/または圧力の領域を相互接続する改良されたガスゲート(42)が開示されている。ガスゲートは支持材料(11)が前記領域間を移動すべく適合された狭く細長い通路と、該通路の中央部に非汚染の掃引ガスの流れを導入する入口手段(93)とを含んでいる。ガスゲートは、通路の高さ、隣接する領域内の圧力および通路を通る掃引ガスの流速が、入口手段と2つの隣接する領域の少なくとも1つとの間で掃引ガスの遷音速流をもたらすことで特徴付けられ、これにより、1つの組成および圧力で特徴付けられる1つの領域を、異なる組成および/または圧力を有する他の領域から、遷音速流れ領域内での拡散種の衝突間の平均自由行路長を減ずることにより効果的に隔離する。ガスゲートは好ましくは、ガス入口手段と通路とが相互接続する交差点にマニホルドを含んでいる。

請求項（抜粋）：

異なるガス成分および/または圧力の領域を相互接続するガスゲートであって、前記ガスゲートは支持材料が前記領域間を移動すべく適合された狭く細長い通路と、該通路の中央部に非汚染の掃引ガスの流れを導入する入口手段とを含み、 通路の高さおよび該通路を通る掃引ガスの流速が、入口手段と2つの相互接続された領域の少なくとも1つとの間で掃引ガスの遷音速流の絞りモードをもたらすことを特徴とするガスゲート。

IPC (3件)：

C23C 16/54 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04

FI (3件)：

C23C 16/54 ,  H01L 21/205 ,  H01L 31/04 T

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-299823
  
• 特開平4-192415
  
• 特開平4-346220