バルブ及びバルブアレイ

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中島淳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-313498
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169826
出願日： 1997年11月14日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】マイクロデバイスバルブ及びセンサを支持し制御するための低コスト且つ信頼性のあるマイクロデバイス構成方法及びシステムを提供する。【解決手段】マイクロデバイス支持システム10のバルブ27はラミネート51〜56を有し、このラミネートは樹脂で含浸された誘電ベース材料から成り、またこのシステムは誘電ベース材料に対して移動可能であり流体フローを制御する要素を有し、さらにラミネート上にホトリソグラフィーで形成された複数の金属電気リードを有する。

請求項（抜粋）：

バルブであって、少なくとも一つのラミネートを有し、前記ラミネートは樹脂で含浸された誘電ベース材料から成り、前記誘電ベース材料に対して移動可能であり、流体フローを制御する要素を有し、ラミネート上にホトリソグラフィーで形成された複数の金属電気リードを有する、バルブ。

IPC (3件)：

F16K 31/06 305 , B65G 51/03 , B65H 5/22

FI (3件)：

F16K 31/06 305 Z , B65G 51/03 A , B65H 5/22 A

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