特許
J-GLOBAL ID：200903081438551706
欠陥検査装置及び欠陥検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-211981
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038815
出願日： 1996年07月23日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】本発明は欠陥検査装置に関し、欠陥があると判定されたペリクルの良否判定を効率的に行い得るようにする。【解決手段】ペリクルフレームに貼り付けられたペリクルに所定の光束を照射する光照射手段と、光束をペリクルに照射した際に得られる該ペリクルからの光を受光する受光手段(18)と、受光手段によつて得られる受光信号(S1)に基づいてペリクルの欠陥箇所を検出する欠陥検出手段(22)と、欠陥検出手段によつて得られる欠陥箇所の位置データを記憶する記憶手段(24)と、ペリクル全面について欠陥検査が終了した後、記憶手段に記憶されている欠陥箇所の位置データに基づいて欠陥箇所の再検査順序を決定し、該再検査順序を表示する順序決定手段(22)とを設けるようにし、その再検査順序に従つて欠陥箇所を再検査するようにすれば、欠陥の確率が高い順にペリクルを再検査することができる。
請求項（抜粋）：
ペリクルフレームに貼り付けられたペリクルに所定の光束を照射する光照射手段と、前記光束を前記ペリクルに照射した際に得られる該ペリクルからの光を受光する受光手段と、前記受光手段によつて得られる受光信号に基づいて前記ペリクルの欠陥箇所を検出する欠陥検出手段と、前記欠陥検出手段によつて得られる欠陥箇所の位置データを記憶する記憶手段と、前記ペリクル全面について欠陥検査が終了した後、前記記憶手段に記憶されている前記欠陥箇所の位置データに基づいて前記欠陥箇所の再検査順序を決定し、該再検査順序を表示する順序決定手段とを具えることを特徴とする欠陥検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/88 E
, G06F 15/62 405 A
