特許

J-GLOBAL ID：200903081443293154

ドレッシング用電着砥石

発明者： 竹内 恵三 ,  安達 直祐 ,  大江 高彦 ,  冨士田 正行
出願人/特許権者： ノリタケダイヤ株式会社 ,  株式会社ノリタケカンパニーリミテド ,  大阪真空工業株式会社
代理人 (1件)： 加藤 久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-330528
公開番号（公開出願番号）：特開2001-150351
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年06月05日
要約：

【要約】【課題】 CMP加工などの精密仕上げ加工に用いられるポリッシャのドレッシング用電着砥石において、凹凸が存在する砥石表面に完全な成膜を形成して耐薬品性を高める。【解決手段】 砥粒13を固定する電着砥石のNiメッキ層14の表面に、厚さ5μmのポリイミド系有機膜を浸漬コート法により形成した内層15、厚さ1μmのWの金属膜を非平衡マグネトロンスパッタリング法により形成した中間層16、厚さ3μmの硬質炭素からなる固体潤滑材膜を非平衡マグネトロンスパッタリング法により形成した外層17を形成し、砥材層12とした。

請求項（抜粋）：

電着砥石の金属メッキ層の表面に、内層が有機膜で外層が固体潤滑材膜である多層膜を形成したドレッシング用電着砥石。

IPC (3件)：

B24D 3/06 ,  B24B 53/12 ,  B24D 3/00 310

FI (3件)：

B24D 3/06 B ,  B24B 53/12 Z ,  B24D 3/00 310 D

Fターム (8件)：

3C047AA31 ,  3C047EE01 ,  3C063BA37 ,  3C063BC02 ,  3C063CC12 ,  3C063EE01 ,  3C063EE26 ,  3C063FF23