特許
J-GLOBAL ID：200903081458163915
形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198769
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038535
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：
【要約】【課題】 外乱振動の影響を受けにくく、大型の被測定物の形状を高精度に測定することができる形状測定装置を提供する。【解決手段】 平行ビームX1の干渉により生ずる明滅変化の周波数を介して算出された2測定点の間の相対位置を平行ビームX1の角度に応じて補正し、さらに補正された2測定点の相対位置を逐次積算することにより被測定面4Aの形状を算出する。
請求項（抜粋）：
被測定物の被測定面上の2測定点に互いに平行で周波数の異なる2つの測定用レーザビームを照射する測定用レーザビーム照射手段と、前記2つの測定用レーザビームを前記被測定面上で走査する走査手段と、前記2測定点で反射される前記2つの測定用レーザビームを受光する受光手段と、前記走査手段による走査時に、前記受光手段における前記2つの測定用レーザビームの干渉により生ずる明滅変化の周波数によって算出された前記2つの測定用レーザビームの光路差に基づき任意の前記2測定点の間の相対位置を計測する相対位置計測手段と、前記2測定点に照射された前記測定用レーザビームの、前記被測定物を基準とするずれ角度を計測するビーム角計測手段と、前記ビーム角計測手段により計測された前記ずれ角度に応じて、前記位置計測手段により計測された前記2測定点における相対位置を補正する補正手段と、前記補正手段により補正された前記2測定点の相対位置を逐次積算することにより前記被測定面の形状を算出する算出手段とを備えることを特徴とする形状測定装置。
IPC (4件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01B 11/26
, G01M 11/00
G01B 11/24 A
, G01B 11/00 G
, G01B 11/26 G
, G01M 11/00 M
