特許

J-GLOBAL ID：200903081464359023

加圧インタフェース装置

発明者： ジョルジュ ガリック ,  アンドレ ラフォンド
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 合田 潔 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-158474
公開番号（公開出願番号）：特開平6-104333
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1994年04月15日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 保護気体環境で半導体ウェハを封入する加圧密封式可搬性容器と処理装置または別の容器間で気体環境を破壊せずにウェハを安全に搬送する装置を提供する。【構成】 2つの別個のIN及びOUT部分からなる加圧インタフェース装置200は1つの容器と処理装置と接続し、裏面に縁203を備えた収納箱202により成る骨組み201を有している。収納箱は2つのINとOUT部分に共通の内部空間204を区画する。収納箱の前面にある2つの出入口窓205A,Bはそれぞれの出入口蓋214A,Bで閉ざされる。骨組みの裏面には事前及び事後処理の各停留所に連通する2つの対応通信ゲート205がある。蓋の作動装置209は収納箱202の上面に固定され、内部空間204への接近を制御可能にし、また防止する。蓋が閉ざされると内部空間は完全に気密に保たれる。各出入口区域では転送ハンドラロボット216は収入箱底部の内面に取付け固定される。

請求項（抜粋）：

解放可能なドア手段(124)によって封止されるアクセス開口部(104)を備えた箱形ハウジング(102)とガス注入バルブ手段(129)から構成されるタイプの加圧密封式可搬性コンテナ(100)の内部から特定の環境内に、またその反対方向に処理用の工作物を搬送するための加圧インタフェース装置(200)であって、前記インタフェース装置は単一(IN/OUT)セクションを有し、前記単一セクションは、第1の開口部(205A)と、前記第1の開口部の反対側で前記特定の環境と連通する第2の開口部(205’A)と、を備えた内部空間(204)を画定するポート区域を有する箱形フレーム(201)と、前記第1の開口部を封止してロードロックチャンバのように作動するポート区域を有する駆動手段(209A)によって制御されるリッド手段(214A)と、上記ポート区域に取り付けられる工作物グリッピング手段(218A)を備えた転送ハンドラ手段(216A)と、第1の待機位置又は前記第1の開口部に隣接する第2の作動位置の何れかにコンテナを収容するための前記第1の開口部の前にあるコンテナ収容手段(221A)と、コンテナを固定し、前記第1の位置から第2の位置に、またその反対方向にコンテナを移動するためのクランプ/起動手段(225a、225b)と、から構成される加圧インタフェース装置(200)。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/07 ,  H05K 5/06

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭57-113245
  
• 特開昭64-044035
  
• 特開平3-214645
  
• 特開平2-027356