真空フレームおよびワークの位置決め方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：磯野道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166755
公開番号（公開出願番号）：特開平11-072929
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：

【要約】【課題】上焼枠は劣化の際に取り替えを容易にし、下焼枠はワークの吸着および離脱を適切にでき、動作制御およびメンテナンスが容易であると共に、真空フレームの構成およびワークの位置決めが能率よくかつ正確にできる真空フレームおよびワークの位置決め方法を提供することを目的とする。【解決手段】搬入ステージAと、アライメントステージBと、露光ステージCとを備え、真空フレームVは、分離合体可能な二基の下焼枠24,24と一基の上焼枠23から構成され、上下焼枠のそれぞれにワークの真空吸着手段を備え、ワークWの位置決め確認作業、および、露光作業中は、上下上焼枠がそのいずれかの真空吸着手段によりワークを挟持し合体して真空フレームとなり、ワークの位置決め作業、および、露光済みワークの搬送は、真空フレームが分離し、下焼枠にワークを保持して行われる真空フレームとして構成した。

請求項（抜粋）：

ワークを搬入する搬入ステージと、下焼枠に保持したワークを適正位置に移動させ位置決めするアライメント整合台、および、適正位置を確認する撮像カメラを備えるアライメントステージと、下焼枠に保持され位置決め済みワークを上焼枠と合体して形成される真空フレームにより露光する露光ステージとを備え、前記真空フレームは、分離合体可能な二基の下焼枠と一基の上焼枠から構成され、上下焼枠のそれぞれにワークの真空吸着手段を備え、ワークの位置決め確認作業、および、露光作業中は、上下上焼枠がそのいずれかの真空吸着手段によりワークを挟持し合体して真空フレームとなり、ワークの位置決め作業、および、露光済みワークの搬送は、真空フレームが分離し、下焼枠にワークを保持して行われることを特徴とする真空フレーム。

IPC (4件)：

G03F 9/00 , G03F 7/20 511 , H01L 21/027 , H05K 3/00

FI (5件)：

G03F 9/00 G , G03F 7/20 511 , H05K 3/00 H , H05K 3/00 J , H01L 21/30 502 J

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