特許

J-GLOBAL ID：200903081472094179

光学的測定装置

発明者： 清野 慧 ,  新野 康生 ,  遠山 退三 ,  道徳 一博
出願人/特許権者： 豊田工機株式会社 ,  清野 慧
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039365
公開番号（公開出願番号）：特開平5-240624
出願日： 1992年02月26日
公開日（公表日）： 1993年09月17日
要約：

【要約】【目的】曲率の大きな角度範囲の広い工作物の表面形状を高精度に測定することを目的とする。【構成】スライドテーブル14と回転テーブル13を設置し、被測定物12の接線角が常に測定可能角度範囲に入るようにスライドテーブル14と回転テーブル13を制御し、検出された接線角の変化量を全測定区間において2回積分することにより被測定物12の表面形状を得る。

請求項（抜粋）：

レーザ光源からのレーザ光を被測定物に照射し、被測定物により反射されるレーザ光によって被測定物の形状測定を行う光学的測定装置において、測定装置に対してトラバース可能なスライドテーブルと、被測定物が載置されるとともに前記スライドテーブルに傾斜可能に取付けられた回転テーブルとを設置し、被測定物の接線角が常に測定可能角度範囲に入るように前記スライドテーブルと前記回転テーブルを制御する制御手段と、各傾き状態での接線角を検出する検出手段と、検出手段によって得られた接線角の変化量を全測定区間において2回積分することにより被測定物の表面形状を算出する演算手段を備えたことを特徴とする光学的測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/30

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-233307
  
• 特開昭60-140314
  
• 特開昭63-243708