特許
J-GLOBAL ID：200903081485863490
赤外線検出素子およびそれを用いた温度測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-346945
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185696
出願日： 1996年12月26日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：
【要約】【課題】 赤外線を利用した温度検出装置において、従来よりも測定速度および測定精度を大幅に向上させること。【解決手段】 赤外線検出素子を2次元アレイ化することにより、測定誤差をなくす。作成方法としては、エッチングホールを利用して下部にマイクロキャビティー6を形成する。
請求項（抜粋）：
下地電極と、前記下地電極上に2次元的に形成された、複数の焦電薄膜素子と、前記複数の焦電薄膜素子のそれぞれの間および周辺部に形成され、前記各々の焦電薄膜素子どうしを絶縁し、かつ保持する絶縁性有機薄膜と、前記各々の焦電薄膜素子から電荷を取り出す複数の取り出し電極を備え、前記下地電極の下方に空隙部を設けたことを特徴とする赤外線検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01J 5/02 Q
, G01J 1/02 Y
