特許

J-GLOBAL ID：200903081486693075

アダプトロニック鏡

発明者： ウド・ディンゲル ,  マルチン・ロス-メセマー
出願人/特許権者： カール ツァイス シュティフトゥング トレイディング アズ カール ツァイス
代理人 (1件)： 渡邊 隆 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005371
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249210
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】 160nm以下の波長が使用される光学系のために、こうした表面特異性を満たすことのできる光学装置を提供することを目的とする。【解決手段】 本発明は、鏡表面3をもつ鏡1と、表面変形に基づいて鏡表面3の弾性振動を生成する装置5とを備えた波長が160nmの放射線7、有利にはEUV放射のための光学装置に関し、この光学装置は、鏡表面3の外面に当たる放射線7が事前設定された角度範囲に回折されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

鏡表面(3)をもつ鏡(1)と、表面変形に基づいて前記鏡表面の弾性振動を生成する装置(5)とを備えた波長≦160nmの放射線、有利にはEUV放射のための光学装置において、前記鏡表面の外面に当たる放射線(7)が事前設定された角度範囲(α)に回折されることを特徴とする光学装置。

IPC (3件)：

G02B 5/18 ,  G02B 5/08 ,  G02B 26/08

FI (5件)：

G02B 5/18 ,  G02B 5/08 A ,  G02B 5/08 B ,  G02B 5/08 Z ,  G02B 26/08 E