特許
J-GLOBAL ID：200903081498907879
検査指示装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中野 雅房
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-333267
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166350
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 光照射位置の駆動機構を簡単にして精度よく実装基板上の不良箇所を指示できる小型の検査指示装置を提供する。【構成】 ヘッド部15のケーシング部22の内面に圧電体を用いたステータ23を固定し、球殻状のロータ24を複数のステータ23によって回転可能に支持し、球面モータ33を構成する。ロータ24内には色の異なる光ビームを出射する複数の光源25を備え、ロータ24の露出した部分にはコリメートレンズ26を設ける。自動検査装置4によって検出された不良箇所の位置情報に基づいて球面モータを駆動し、不良内容を示す実装情報に従って決められた色の光ビームγを不良箇所に照射する。
請求項（抜粋）：
検査対象物が載置されるステージと、前記検査対象物へ光を照射する光源と、前記光源の光の照射位置を制御する球面モータと、から構成される検査指示装置。
IPC (3件)：
G01N 21/84
, G01B 11/00
, H05K 13/08
