特許
J-GLOBAL ID：200903081504357975
光検出または照射用プローブとその製造方法、及びこれらのプローブを備えた走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-173933
公開番号（公開出願番号）：特開平11-352134
出願日： 1998年06月05日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】100nm以下の開口径を持つ微小開口であっても、再現性良く微小開口を形成することができる光検出または照射用プローブとその製造方法を提供すること。【解決手段】遮光性部材1に設けられた微小開口3より透光性薄膜2が露出してなる光検出または照射用プローブであって、前記微小開口より露出する透光性薄膜によって遮光性部材の主面に対して凸状となる突起部5が形成されていることを特徴とするものであり、またプローブの製造方法は、遮光性部材1に設けられた微小開口3より透光性薄膜2を露出させて光検出または照射用プローブを製造する方法であって、前記遮光性部材と前記透光性薄膜を接合形成する工程と、前記遮光性部材の一部を研磨除去することで該透光性薄膜の一部が露出した微小開口を形成する工程と、を少なくとも有する。
請求項（抜粋）：
遮光性部材に設けられた微小開口より透光性薄膜が露出してなる光検出または照射用プローブであって、前記微小開口より露出する透光性薄膜によって遮光性部材の主面に対して凸状となる突起部が形成されていることを特徴とする光検出または照射用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 E
, G01B 11/30 Z
