特許
J-GLOBAL ID:200903081505000540

圧電発振子の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中村 茂信
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-037862
公開番号(公開出願番号):特開平6-252675
出願日: 1993年02月26日
公開日(公表日): 1994年09月09日
要約:
【要約】【目的】 一度に複数個の圧電発振子を作製することのできる製造方法を提供する。【構成】 ベース板1の上面に電極パターン2を所定間隔で形成すると共に、この上面電極2に対応するベース板1の下面にも電極パターンを形成し、スルーホール3によって上面電極2と下面電極を接続し、上面電極2の一対のパッド部2a,2a上にそれぞれ圧電セラミック素子4を導電性接着剤5によって固着し、各ユニットに対面する部分に凹部を有するキャップの凹部側をベース板1に接合部分6にて接合し、その後に各ユニット間のスクライブ部9に沿って切断する。
請求項(抜粋):
ベース板の少なくとも上面に所定の電極パターンを形成し、各ユニット(圧電発振子)毎に上面電極と、この上面電極に対応させて形成した下面電極とを接続し、各ユニットにて一対の上面電極に圧電セラミック素子をそれぞれ取付け、このベース板に、各圧電セラミック素子を個別に収容する凹部を有するキャップの前記凹部側を接合し、その後に各ユニット間を切断して個々のユニットに分離することを特徴とする圧電発振子の製造方法。
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開平3-108807
  • 特開平3-058511
  • 特開平3-027610
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