特許

J-GLOBAL ID：200903081505134600

高純度過酸化水素水の製造方法

発明者： 田口 敏 ,  村上 紳一
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-326642
公開番号（公開出願番号）：特開平7-187616
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月25日
要約：

【要約】【構成】 粗過酸化水素水を精製して高純度過酸化水素水を製造するにあたり、粗過酸化水素水を、架橋度が5以下である強酸性カチオン交換樹脂と接触させることを特徴とする高純度過酸化水素水の製造方法。【効果】 金属類、塩素イオン及び硫酸根の低減された高純度過酸化水素水であって、よって半導体製造プロセスに最適に用いられる高純度過酸化水素水を製造する方法を提供することができる。

請求項（抜粋）：

粗過酸化水素水を精製して高純度過酸化水素水を製造するにあたり、粗過酸化水素水を、架橋度が5以下である強酸性カチオン交換樹脂と接触させることを特徴とする高純度過酸化水素水の製造方法。