特許
J-GLOBAL ID：200903081506349422
ダイシング装置のテーブル機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-227464
公開番号（公開出願番号）：特開平8-069985
出願日： 1994年08月30日
公開日（公表日）： 1996年03月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 止めネジをいちいち着脱しなくてもクランプ部の位置を簡単に変更出来るようにした、ダイシング装置のテーブル機構を提供する。【構成】 ダイシング装置でのダイシングに際し、テープを介してフレームに装着されたウェーハを保持するためのテーブル機構1であって、このテーブル機構はウェーハを吸引保持するチャックテーブル2と、ダイシングの妨げにならないようにフレームを押し下げるクランプ機構3とから構成され、このクランプ機構はクランプ部7と、クランプ部の径方向の移動を案内するガイドレール6と、ガイドレールに対してクランプ部を固定するロック部8とから構成され、このロック部8は解除位置と非解除位置とに選択的に位置付けられる。
請求項（抜粋）：
ダイシング装置でのダイシングに際し、テープを介してフレームに装着されたウェーハを保持するためのテーブル機構であって、このテーブル機構はウェーハを吸引保持するチャックテーブルと、ダイシングの妨げにならないようにフレームを押し下げるクランプ機構とから構成され、このクランプ機構はクランプ部と、クランプ部の径方向の移動を案内するガイドレールと、ガイドレールに対してクランプ部を固定するロック部とから構成され、このロック部は解除位置と非解除位置とに選択的に位置付けられる、ダイシング装置のテーブル機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 N
, H01L 21/78 M
