特許

J-GLOBAL ID：200903081512600838

留め装置

発明者： ピーター ミカエル コルセル マルチノー
出願人/特許権者： サーフェイス テクノロジー システムズ リミテッド
代理人 (1件)： 市東 禮次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074736
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004134
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】半導体ウェーハ又はウェーハ・キャリアー等の加工品を留める装置の提供。【解決手段】留め装置15は、内向き半径方向突出片17が設けられた環状枠16、及び下端に重り19が設けられた支持脚18を有する。脚18は室の基底20の上に起立するが、他の適当な棚又は張出し棚の上にも起立できる。支持電極12が昇降機構21に取付けられ、垂直方向に上方電極11に対して前進・後退する。その支持電極は、自己の上昇時に、前記半径方向突出片17によって留め装置15を取上げる。

請求項（抜粋）：

加工品を可動電極へ留める留め装置において、加工品に係合する留め手段、及び前記留め手段を可動電極の載荷位置から離して支持する自由起立型支持手段を備え、前記支持手段が前記可動電極及び加工品によってその起立位置から動かされた時に前記支持手段がウェーハを前記電極へ留めるに足る十分大きな質量を前記支持手段に持たせてなる留め装置。