特許

J-GLOBAL ID：200903081517538561

ガス排気装置

発明者： 杉原 賢 ,  村松 文雄 ,  竹田 智彦
出願人/特許権者： 国際電気株式会社
代理人 (1件)： 三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-330050
公開番号（公開出願番号）：特開平5-137956
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月01日
要約：

【要約】【目的】ガス排気装置に於いて、ハロゲン系ガスの検出精度を向上させると共にハロゲン系ガスを含有する排ガスの流出を防止する。【構成】配管2より分岐させ弗酸検出器5を経て一般大気に排気し、前記弗酸検出器のハロゲン系ガス検出によって前記配管を閉塞する様にしたガス排気装置に於いて、前記弗酸検出器の上流側に混合槽8を設け、該混合槽に水素を含むガスを流入させる様にして弗酸の生成を促進し、弗酸の検出精度を向上させ、又前記弗酸検出器下流に弗酸検出によって作動する電磁遮断バルブ11を設けてガス排気装置からのハロゲン系ガスの排出を防止し、又前記弗酸検出器の下流にハロゲン系ガス吸着槽を設けてガス排気装置を流通するハロゲン系ガスを吸着する。

請求項（抜粋）：

配管より分岐させ弗酸検出器を経て一般大気に排気し、前記弗酸検出器のハロゲン系ガス検出によって前記配管を閉塞する様にしたガス排気装置に於いて、前記弗酸検出器の上流側に混合槽を設け、該混合槽に水素を含むガスを流入させる様構成したことを特徴とするガス排気装置。