転がり軸受

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-105597
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065075
出願日： 1999年04月13日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】半導体製造装置等の清浄な雰囲気や真空環境下等でも十分に使用可能な、軸受から外部に飛散するパーティクルが少ない転がり軸受を提供することを課題とする。【解決手段】シールド板6の軸受内部空間側の面に、シート状の永久磁石8を固定する。その永久磁石8には、磁性流体7が付着している。また、内輪2及び保持器表面5は非磁性体で構成されている。そして、軸受内部で発生したパーティクルは、磁性体であれば磁石8に吸引されて捕獲保持され、また、磁性体で有るかどうかに関係なく、磁石8に付着する磁性流体7内に捕獲保持される。

請求項（抜粋）：

内輪と外輪との間の軸受内部に、保持器で保持された複数個の転動体が介装されると共に軸方向両側にシールド板を付けた転がり軸受において、軸受内部で生成される摩耗粒子等のパーティクルを当該軸受内部で捕獲保持するパーティクル捕捉手段を、軸受内部空間側の上記内輪、外輪、及びシールド板の各面、保持器表面、及び転動体表面のうちの少なくとも一つの面に設けたことを特徴とする転がり軸受。

IPC (3件)：

F16C 33/76 , F16C 33/80 , F16C 41/00

FI (3件)：

F16C 33/76 A , F16C 33/80 , F16C 41/00

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