特許
J-GLOBAL ID：200903081527178318
集積回路の回路試験装置および回路試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-225334
公開番号（公開出願番号）：特開平5-047883
出願日： 1991年08月12日
公開日（公表日）： 1993年02月26日
要約：
【要約】【目的】 被測定回路への影響を与えずにかつ安価に集積回路の試験を行える試験装置及び試験方法を提供する。【構成】 被測定回路には変調信号を与えずに通常の動作を行わせておき、レーザ光の強度を変調し、被測定回路の電気信号の大きさに応じて変化する変調周波数成分のレーザ光強度を測定する。この結果、レーザ光の強度に変調がかかるのみで、被測定回路に対しては何ら変調信号を与えないので、通常の回路動作のまま測定できる。また、その際の変調周波数は、回路の動作周波数や入力信号パターンには全く無関係に選ぶことができる。また、直流信号レベルの測定が行えるため、信号レベルの較正が簡単にでき、測定信号の絶対値を知ることが可能となる。また、本発明の方法で使用する光検出器は、低周波数帯で動作する一般的でかつ安価な市販品で構成できる。
請求項（抜粋）：
集積回路の動作により生じる信号電界を、該信号電界により複屈折率が変化する電気光学材料にプローブ光を入射させ、信号電界強度に応じて変化するプローブ光強度を測定することにより前記信号波形を検出する集積回路の回路試験装置において、プローブ光を発生させるためのレーザ光源と、プローブ光の強度を変調するための変調手段と、その駆動源である発振器と、該変調手段により強度変調されたプローブ光を直線偏光とするための偏光子と、プローブ光を任意の偏光状態にバイアスするための補償板と、信号発生器からの電気信号に基づく集積回路動作により生ずる被測定電界を前記強度変調されたプローブ光により電気光学的に検出する測定ヘッドと、該測定ヘッドにおいて被測定電気信号強度に応じた偏光変化を受けたプローブ光を強度変化に変換する検光子と、該検光子からの光出力を電気信号に変換する光検出器と、該光検出器からの出力信号のうち前記発振器からの参照信号に同調した成分のみを抽出するための狭帯域増幅器とを備えたことを特徴とする集積回路の回路試験装置。
引用特許：
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