特許

J-GLOBAL ID：200903081527350510

液面振動の少ない半導体シリコン引上げ用ルツボ

発明者： 渡部 弘行 ,  庄司 正文
出願人/特許権者： 株式会社楠和クォルツ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-350504
公開番号（公開出願番号）：特開2002-154894
出願日： 2000年11月17日
公開日（公表日）： 2002年05月28日
要約：

【要約】【解決手段】 切断されたルツボの試料の上にシリコンを0.125gから0.130gを乗せ、Arガス中、1500°C、常圧で30分保持し、発生したSiO2べーパーを除去したのちの減量が0.013g以下である半導体シリコン引上げ用ルツボを提供することで液面振動を抑えることができる。

請求項（抜粋）：

切断されたルツボの試料の上にシリコンを0.125gから0.130gを乗せ、Arガス中、1500°C、常圧で30分保持し、発生したSiO2べーパーを除去したのちの減量が0.013g以下であることを特徴とした液面振動が少ない半導体シリコン引上げ用ルツボ

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 ,  C30B 15/10

FI (2件)：

C30B 29/06 502 B ,  C30B 15/10

Fターム (6件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG02 ,  4G077HA12 ,  4G077PD01