特許
J-GLOBAL ID:200903081527380834

多層光学薄膜

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-003183
公開番号(公開出願番号):特開平5-188202
出願日: 1992年01月10日
公開日(公表日): 1993年07月30日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、高屈折率膜と低屈折率膜を組み合わせた多層光学薄膜において、低温で蒸着させた場合でも、光学特性が経時変化をおこさない多層光学薄膜を提供するものである。【構成】 高屈折率膜と低屈折率膜を組み合わせた多層光学薄膜において、前記高屈折率膜に隣接する層がAl2 O3 又は基板であることを特徴とする。
請求項(抜粋):
高屈折率膜と低屈折率膜を組み合わせた多層光学薄膜において、前記高屈折率膜に隣接する層がAl2 O3 又は基板であることを特徴とする多層光学薄膜。

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