ペリクル光学素子、及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三品岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-134837
公開番号（公開出願番号）：特開平9-319070
出願日： 1996年05月29日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】ペリクル光学素子に樹脂フィルムを用いても、高い平面度を確保する。【解決手段】樹脂フィルム3aとして、樹脂フィルムのガラス転移点以上で樹脂フィルムが完全に溶融する溶融温度未満の温度で且つ加熱時間が30分での加熱収縮率であって、広がっている平面内で互いに垂直な二方向における一方向の加熱収縮率が1.0未満で他の方向の加熱収縮率が1.0以上であるものを用いる。そして、この樹脂フィルム3aを中心部分から外周方向へ引っ張っり、且つ、この樹脂フィルム3aをガラス転移点以上で溶融温度未満に加熱した状態で、樹脂フィルム3aをエポキシ系接着剤2で枠1に接着する。

請求項（抜粋）：

樹脂フィルムが枠で保持されているペリクル光学素子において、前記樹脂フィルムは、該樹脂フィルムのガラス転移点以上で該樹脂フィルムが完全に溶融する溶融温度未満の温度で且つ加熱時間が30分の加熱収縮率であって、広がっている平面内で互いに垂直な二方向における一方向の加熱収縮率が1.0未満で他の方向の加熱収縮率が1.0以上であることを特徴とするペリクル光学素子。

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平4-369649
特開昭61-069453
特開平3-266628

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