特許

J-GLOBAL ID：200903081528759187

太陽電池モジュールの製造法

発明者： 貞本 満 ,  芦田 芳徳 ,  福田 信弘
出願人/特許権者： 三井東圧化学株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-232819
公開番号（公開出願番号）：特開平8-097453
出願日： 1994年09月28日
公開日（公表日）： 1996年04月12日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】 透明基板1上に透明導電膜21〜24、非晶質シリコン層31〜34、裏面電極41〜44の順に構成された太陽電池において、裏面電極を形成した後に、充分に制御されたエネルギ-密度及び加工形状を有したレーザー光を照射することにより、非晶質シリコン層を改質させ導通性31b〜33bを持たせて、透明導電膜と裏面電極の間に、電気的な接触を形成することにより太陽電池モジュ-ルを形成する。【効果】 非晶質シリコン層と裏面電極の形成を連続して行った後に、連続あるいは同時に非晶質シリコン層の導通のためのパターニング及び裏面電極のパタ-ニングを行うことにより、工程の簡素化を図ることができる。

請求項（抜粋）：

透明絶縁基板上に、透明導電膜、非晶質シリコン層、裏面電極を順次形成した構造を持ち、透明導電膜と裏面電極の間に導通性を持たせた集積化太陽電池モジュールの製造方法において、該非晶質シリコン層と裏面電極を順次形成した後、中心位置に半月形の突起を有する邪魔板を、レーザー光路の途中に配置せしめてなるアーチ形の断面形状を有するパルスレーザー光を連続的に照射せしめて、裏面電極と透明導電膜の電気的な導通を隙間なく生じさせるとともに、該生じせしめた導通部分の重なりをできるだけ押さえるようにすることを特徴とする太陽電池モジュールの製造方法。