特許

J-GLOBAL ID：200903081530085150

硬質カーボン膜の密着性改善方法

発明者： 鈴木 すすむ ,  鈴木 巧一
出願人/特許権者： 旭硝子株式会社
代理人 (1件)： 泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059623
公開番号（公開出願番号）：特開平5-221691
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：

【要約】【構成】ガラス等の基板1上に、あらかじめ、W,Mo,Ti,Zr,Ta,Hf,Cr,Si,ZrSix や、これらの炭化物からなる中間膜2を形成し、この中間膜2上に硬質カーボン膜3を形成する。【効果】硬質カーボン膜が基板に強固に密着し、剥離することがない。

請求項（抜粋）：

硬質カーボン膜を基板上に形成するにあたり、あらかじめ基板上に金属、半導体、およびこれらの炭化物のうち少なくとも1種からなる中間膜を形成し、かかる中間膜上に硬質カーボン膜を形成することを特徴とする硬質カーボン膜の密着性改善方法。

IPC (3件)：

C03C 17/34 ,  B32B 17/00 ,  C03C 17/36

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭64-042381
  
• 特公昭64-010041
  
• 特表平6-501745