酸発生剤、スルホン酸とその誘導体、含ハロゲンノルボルナン系化合物および感放射線性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福沢俊明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-380168
公開番号（公開出願番号）：特開2004-210670
出願日： 2002年12月27日
公開日（公表日）： 2004年07月29日
要約：

【課題】放射線に対する透明性に優れ、露光ないし加熱により酸を発生する酸発生剤として、燃焼性や人体蓄積性に問題がなく、発生する酸の酸性度および沸点が高く、レジスト被膜中での拡散長が適度に短く、パターン依存性が小さい新規酸発生剤、該酸発生剤を含有する感放射線性樹脂組成物等を提供する。【解決手段】酸発生剤は、式(1)または式(2)の構造を有する。【化1】【化2】(各式中、R1 は水素原子または1価の置換基、pは1以上の整数、Z1 およびZ2 はフッ素原子またはパーフルオロアルキル基、Y1 は単結合または2価の基、R2 は1価または2価の置換基、qは0以上の整数、nは0〜5の整数である。)感放射線性樹脂組成物は、前記酸発生剤以外に、ポジ型では酸解離性基含有樹脂を含有し、ネガ型ではアルカリ可溶性樹脂と架橋剤を含有する。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)または下記一般式(2)で表される構造を1つ以上有する化合物からなる酸発生剤。

IPC (9件)：

C07C309/19 , C07C309/65 , C07C309/66 , C07D207/46 , C08F2/50 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (9件)：

C07C309/19 , C07C309/65 , C07C309/66 , C07D207/46 , C08F2/50 , G03F7/004 503A , G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (26件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CC17 , 2H025FA17 , 4C069AC36 , 4C069AD10 , 4C069BC10 , 4C069BC12 , 4H006AA03 , 4H006AB81 , 4J011QA01 , 4J011QA09 , 4J011QA37 , 4J011QA43 , 4J011SA83 , 4J011SA87 , 4J011UA02 , 4J011UA03 , 4J011UA04

引用特許：

審査官引用 (1件)

特開昭60-260947

引用文献：

審査官引用 (1件)

Reaction of Trihalogenmethanesulfenyl Chlorides, Acetates and Trifluoroacetates with Norbornene

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